刮边机/磨边机/刮边清洗一体机/磨边清洗一体机

主要用途：
研磨晶圆边缘因镀膜工艺中造成的粘连导电物质，以及晶圆切割工艺中造成的边缘表面凸起部位，以避免因晶圆平整度不佳，而在后道下腊、研磨等工艺中产生晶圆破片、暗裂等不良现象，提升产品TTV。

主要功能：
自动上下料、刮边、清洗、甩干吹干。

主要特点及优势：
破片率低、设备精度高。