划裂后二流体清洗机

主要用途:
清洗划裂后晶圆,清洗完成后同槽体内进行甩干及吹干

主要功能:
1.自动上料（卡塞来料）
2.滴药液
3.刷洗
4.二流体清洗
5.甩干+吹干
6.自动下料（入卡塞）
7.生产配方可建立可选